Halbleiterfertigung

Mobil für Chips

Kleine, smarte Computerchips, sogenannte Halbleiter, finden sich im Alltag mittlerweile überall. Bei der Halbleiterfertigung wird das chemische Element Silizium in Form von Wafern bearbeitet. Die Wafer werden bei der Fertigung unter Reinraumbedingungen in speziellen Kunststoffkassetten gelagert und verarbeitet.

Kuka hat eine Lösung aus einer Hand entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann. © Kuka

Kuka hat mit der Wafer Handling Solution eine Lösung aus einer Hand entwickelt, die Halbleiter-Kassetten automatisiert transportieren und handhaben kann. Die Applikation besteht aus der mobilen Plattform KMR 200 CR mit Mecanum-Rädern, die das omnidirektionale Fahren in jede Richtung ermöglichen. Sensoren an der Plattform nehmen die Umgebung in Echtzeit wahr und vermeiden so Kollisionen. Der zur Mensch-Roboter-Kollaboration fähige LBR iiwa ist auf der Plattform verbaut. Die Sensitivität des Roboters ermöglicht es, die sensiblen Wafer-Kassetten sicher und erschütterungsfrei zu handhaben. Die dritte Komponente der Applikation ist der maßgeschneiderte Greifer. Die Wafer-Handling-Softwarelösung kommt auch von Kuka und fügt sich in das Manufacturing Execution System der Halbleiterproduzenten ein. Der in der Software integrierte Flottenmanager steuert die Transportaufträge. as

Anzeige
Anzeige

Das könnte Sie auch interessieren

Anzeige

Sechs-Achsenroboter

Jetzt auch mit sechs Achsen

Mit der neuen AR-V-Serie erweitert Hirata sein Portfolio an Industrierobotern. Damit kann das Unternehmen im Bereich Sondermaschinenbau die Automatisierung von Produktionsanlagen mit eigenen Robotern mit unterschiedlichen Kinematiken ausrüsten.

mehr...
Anzeige
Anzeige

FMB in Bad Salzuflen

Roboter spielt Mühle

Für die FMB in Bad Salzuflen hatte sich de Man etwas Besonderes einfallen lassen: Auf dem Stand des Spezialisten für Automatisierungstechnik spielte ein Roboter Mühle gegen die Messebesucher.

mehr...
Anzeige
Anzeige
Anzeige
Anzeige

Mobile Robotik

Torsten bekommt Arme

Interaktionsfähige Roboter. Stationäre Robotik kann in der Intralogistik an Grenzen stoßen. Torwegge hat deshalb sein fahrerloses Transportsystem Torsten weiterentwickelt und ihn mit einem Pick-Roboter ausgestattet.

mehr...